技术干货 | 为什么CDA 中的油份含量会超标？

CDA，全称Compression Dryer Air（压缩干燥空气），在各行各业的工业制程中，特别是电子、半导体、面板以及生技制药等精密制程领域，得到了广泛应用。在这些行业中，压缩空气的洁净度至关重要。CDA系统根据用途的不同，可分为P-CDA（用于分类、包装、测试、处理、组装、蚀刻、清洁等仪器使用）、D-CDA（用于气动设备仪控驱动）以及B-CDA（用于工安防护具呼吸）。其中，P-CDA在制程清洁与干燥方面的应用尤为关键。由于压缩空气会直接且大量地接触到产品和设备，并释放到洁净室中，因此除了需要控制室内的温度和湿度外，还必须严格消除任何灰尘或其他污染物。如果供气源含有水分和细微颗粒，将会对制程中的精密产品造成污染，甚至影响无尘室的整体环境。因此，CDA的微污染控制已成为无尘室管理不可或缺的重要环节。

在制定影响制程良率的重要指标时，针对CDA微污染控制，我们可以在ISO 8573方法的基础上，结合SEMI F21 AMC管控项目来进行全面评估。这些关键指标包括：

• 重金属元素分析
• 油份含量（总碳氢化合物）分析
• 微粒子数分析（0.1um~10um）
• 酸碱气体含量分析（阴阳离子）
• 水份及露点分析
• 其他有机污染物分析
• CO/CO2/NOx/SOx/H2S
• 过滤效率评估（ISO 12500）

油份含量超标的原因
很多厂商在控管油份含量（总碳氢化合物）时，常常发现其实际值超出了预设的标准。在CDA中的油份含量的主要来源包括以下几个方面：

1. CDA环境的空气来源：当CDA系统从环境中抽取空气时，如果空气中含有碳氢化合物分子，这些分子在经过压缩机多倍压缩后，往往会导致CDA中的油份（油气）指标超标。
2. 空压机设备本身贡献：通常情况下，空气压缩机在运行过程中需要使用一定量的润滑油。尽管市面上存在宣称少油或无油的空压机，但这类设备是否真的对油份（油气）零贡献，还需通过实验来验证。
3. 末端使用点的管路施工残余或泄露：CDA系统到末端使用点还需要经过几百米长的气体管路，这段长达几百米的气体管路需要确保不泄露，并且管路材质必须保持洁净，这样才能保证末端使用点的CDA品质符合要求。
   
   

油份含量超标解决方式

• 选择优良并有控制的空气来源
• 确认CDA设备本身对油份（油气）是零贡献
• 确认气体管路洁净度
• 使用 CDA专用的过滤器（针对水汽、油汽、Particle 三道过滤程序）

SGS为您提供以下专业服务

• 重金属元素分析
• ISO 8573-5油份含量（总碳氢化合物）分析
• ISO 8573-微粒子数分析（0.1um~10um）
• ISO 8573-7 微生物（总菌）分析
• ISO 8573-水份及露点分析
• SEMI F21酸碱气体含量分析（阴阳离子）分析
• SEMI F21 有机污染物化合物种类分析
• SEMI F21金属含量分析
• CO/CO2/NOx/SOx/H2S含量分析
• CDA过滤器的效率评估（ISO 12500）