技术干货 | 洁净室设计全攻略，打造高效无尘环境
原创
2024-06-27 17:00:00
技术文章
作者： SGS_SEMI
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洁净室作为一种高洁净度环境，广泛应用于各行各业，主要分为工业类洁净室 (ICR) 和生物技术类洁净室 (BCR) 两大类：
- 工业类洁净室 (ICR)
主要应用于半导体、面板、电子、汽车、精密机械等行业，更注重工艺上的需求，例如控制生产环境中的微粒粒径和浓度，以达到产品的洁净程度。
- 生物技术类洁净室 (BCR)
主要应用于制药、医疗器械、医疗、化妆品、食品等行业，法规要求较多，例如PIS/GMP、P2、ISO13485等，需要严格控制环境中的微生物和微粒，确保产品质量和安全。
洁净室设计要点
洁净等级是设计洁净室最基本的前提，此外还需要考量以下设计要点：
- 场地大小
- 法规要求 (建筑、消防等)
- 成本估算
- 时标评估
- 预期项目复杂程度
- 设计方案比较（对比不同设计方案优劣势，选择最优方案）
- 设施维护要求
- 设施灵活性
- 设施备用能力
- 设计可建设性
- 品质计划
洁净室空调系统设计
经过评估，一旦选定符合需求的设计院并设计出洁净室的原图，且该设计图获得相关管理单位的审批后，接下来需要针对洁净室的空调系统设置进行如下决策：
- 洁净室形式（层流或非层流）
- 洁净室洁净等级
- 洁净室气流沉降模式
- 洁净室气流循环次数
- 洁净室气流方向及气压差
- 其他需求
经过上述评估及审批流程后，可以规划并决定洁净室空调系统的具体设置，包括是否需要采用高架形式、确定FFU的数量、MAU的大小以及冷热主机的功率等。洁净室的设计至关重要，若洁净等级未能达标，将无法满足法规要求及工艺需求。然而，若洁净等级要求过于超标，不仅可能使建造成本成倍增加，还会导致日后的维护保养费用上升，日常运作也会更加耗能。
洁净室检测与维护
在确认洁净室是否能达到预期的洁净等级时，必须进行相应的检测工作。这一过程可以参照ISO 14644国际标准，对洁净室的以下三种状态进行确认：
- 空态As-built cleanroom（刚完工的无尘室）
设施已经建成，所有动力已接通并处于运行状态，但无生产设备、材料或人员在场。
- 静态At-rest cleanroom（准备中的无尘室）
设施已经建成，生产设备已安装，并以用户和供应商共同商定的方式运行，但无人员在场。
- 动态Operational cleanroom（操作中的无尘室）
设施以规定的方式运行，有规定数目的人员在场，并以双方同意的方式进行工作。
此外，运行中的洁净室需要定期(半年/一年)进行连续的相符性测试和监测。
SGS提供洁净室全方位服务
- 设计与建造
提供设计图制作、建造（含空调效能验证）、改善工程等咨询服务。
- 训练与顾问
提供供应商洁净室审核、洁净室培训课程和洁净室管理文件等服务。
- 量测与确认
提供洁净室验收测试、空调系统效能验证、连续符合性评估、超纯水和压缩空气品质检测、洁净室设备符合性评估等服务。
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