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干货分享 | 洁净室建造的质量如何精准把控?

干货分享 | 洁净室建造的质量如何精准把控?

原创
2024-10-30 17:30:00
技术文章
作者: SGS_SEMI
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某天,铁头邀请女友轩然和轩然的闺蜜有蓉共进晚餐,地点是一家高档餐厅。

轩然好奇地问:“怎么了?是最近股票赚了还是怎么了,忽然要请我们吃饭?”

铁头笑着回答:“最近公司接了几个大工程,都是兴建半导体晶圆厂的,老板给了一些奖金。”

有蓉也好奇地问:“最近行业不是很内卷吗?想不到你们公司的生意还不错。”

铁头自信地说:“半导体这行业需要很重视质量的,对我们洁净室建造厂商来说,兴建成本固然需要考量,但重要的是厂房能否符合半导体行业对整个洁净度的要求。”

洁净室建造的质量如何精准把控?


有蓉接着问:“原来这行业有这么多需要关注的细节啊,都是哪些要求呢?”


铁头耐心地解释道:
“整个厂区需要符合ISO 14644洁净室洁净等级的标准,除了这些粒状污染物,更有化学性的气态污染物也要依据SEMI F21的建议标准来控制。在整个厂房系统水气电的使用也都有要求,像厂房内的超纯水要求甚至要优于国标GB/T 11446 电子级水的水平,所用的压缩气体也要符合ISO 8573 压缩空气的品质要求。

我们公司啊,在这行业算是比较专业的,技术品质上也都能达到这水平,可以满足客户这些质量要求,生意就还可以。最重要是,我们委托SGS来帮我们进行这些产品的质量把关和验证。

SGS半导体超痕量实验室在这方面有专业的分析技术与丰富的经验,而且是国际上有知名度的三方实验室,有了SGS来帮我们验证,不管是洁净室、超纯水、压缩空气或者我们在兴建时所用的材料的洁净度,都能让我们的客户安心与放心。”

洁净室建造的质量如何精准把控?


听完铁头的介绍,有蓉和轩然都表示:“感谢今天的大餐跟宝贵的一课呢!”


铁头说的SGS服务有哪些呢?

SGS提供的服务包括但不限于:

  • 洁净室空降污染分子检测服务
    Airborne molecular contamination (AMC) (SEMI F21)
  • 纯水系统品质管理测试服务
    Ultra pure water (UPW) quality control and testing service (GB/T 11446 / GB/T 6682)
  • 压缩干燥气体检测服务
    Compress Dry Air (CDA) testing service (ISO 8573)
  • 洁净室建置及整合性服务
    Cleanroom set-up and integrated service
  • 半导体设备发尘量符合性评估
    Assessment of suitability for use of equipment by airborne particle concentration (ISO 14644-14:2016)
  • 洁净室空调系统效能确认服务
    HVAC system validation service(ISO 14644-1)
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