空气分子污染物(AMC)即环境中有能力沉降于表面上形成单分子层(Monolayer)薄膜的气态化学污染物质,AMC是许多高新技术生产流程中关注的重点问题。
目前,随着相关部门对产品纯度的要求日益提升,人民对工作和生活环境健康的关注度日益增强,无论是电子芯片制造、药品生产及食品生产,还是公众日常的家庭生活,空气分子污染均是不可忽视的污染类型,有机污染会引起生产工具中不利的影响,同时增加高科技公司的生产成本。
AMC常见来源
1. 生产过程中使用化学品、或因化学滤网效率降低或外泄而产生的物质;
2. 邻厂使用含硫有机溶剂排放的有机硫化物;
3. 石化生产过程排放的挥发性有机化合物及其光化学反应物质;
4. 大气中硫氧化物、氮氧化物;
5. 洁净室部分建材、机具、器材等相关物品所挥发的有机化合物。
制造环境AMC种类SEMI F21-95
1. 酸性(Acids):HF, H2SO4, HCl, HNO3, H3PO4, HBO3等;
2. 碱性(Bases):NH3, (C2H5)3N, C2H7No, (CH3)2NH, (CH3)NH2, (CH3)3N, C6H11NH2, C4H9NO, TMAH, TMDS, HMDS, NMP, DEAE等;
3. 凝结物(Condensables):Silicone, Hydrocarbon等;
4. 掺杂物(Depants):Boron, Phosphorous, Heavy Metal等。