超纯水测试

SGS配备高端洁净室、高端分析仪器、超高纯度规格的纯水系统和全套在线检测设备，引进世界先进检测经验和系统，以及资深采样和检测工程师，能够针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务，以确保您的超纯水"超纯"，真正达到超洁净度要求。

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	针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务，以确保您的超纯水"超纯"
	☑ 客户现场在线分析 ☑ 实验室分析

服务背景

在半导体制作工艺中，50%以上的工序需要晶圆与超纯水直接接触，80%以上的工序需要进行化学处理，而化学处理又与超纯水有关，水中的杂质会进入晶圆，如果带入过量的杂质，就会导致器件性能下降，影响产品性能。因此，制备高品质的超纯水已成为发展大规模集成电路的重要前提技术。

纯水&超纯水杂质分类

在半导体生产过程中，各种产品对水的纯度要求各不相同，通常将纯水分为纯水和超纯水两种。超纯水要求所含的悬浮颗粒直径在0.45微米以下，细菌数为0～10个/毫升，25℃时电阻率在10兆欧•厘米以上。在国标GB/T 11446电子级水的技术指标颗粒直径控制甚至比0.1微米更小，25℃时电阻率在18兆欧•厘米以上，I级与II级的杂质要求都是ppt等级。

纯水和超纯水的杂质主要分为三类：

- 痕量金属杂质，容易污染的比如钠、钾、钙、镁、硼等，同时也需要控制特殊工艺受影响的元素。
- 痕量阴阳离子杂质，如常见的阴离子为氟离子、氯离子、硝酸根、硫酸根、磷酸根等，阳离子如铵根、锂、钠、钾、镁、钙等。
- 痕量的有机污染物等。

由于杂质要求达到ppt等级时，电导率不再是可以表征超纯水中杂质，特别是金属杂质和阴阳离子杂质的有效手段。只有通过用先进的分析仪器来测定金属和离子的真实含量，才能了解超纯水的真实质量。

服务内容

和一般的测试不同，超纯水对测试系统的要求非常高，包括采样环境、采样设备、人员的经验和样品运输，以及测试的时效性都是影响超纯水测试结果的重要因素。

SGS配备高端洁净室、高端分析仪器、超高纯度规格的纯水系统和全套在线检测设备，引进世界先进检测经验和系统，以及资深采样和检测工程师，能够针对超纯水提供全套超痕量杂质分析服务，以确保您的超纯水"超纯"，真正达到超洁净度要求。

┃ 样品采集

▼

资深SGS工程师前往客户现场进行采样及在线测试，更符合极端水质验证要求。

SGS提供经验证的干净采样瓶供客户免费使用，同时提供采样指引，由客户采集样品并寄送样品到SGS实验室进行分析，此种是SGS推荐的最佳服务方式，既保证测试结果又节省费用支出。
客户使用自己的采样瓶并采集样品寄到SGS实验室进行分析，采用这种方式可兼顾客户对样品瓶的验证。

┃ 样品测试

▼

▪ 客户现场在线分析
在线总有机碳（TOC）测试、在线微粒子（Particle）测试、在线电导率测试、在线溶氧测试，及在线细菌采集等。

▪ 实验室分析
金属含量、二氧化硅、阴阳离子、总有机碳（TOC）、微粒子（Particle）、菌落总数、电导率、PH、碳酸根CO₃²-、溶氧、可溶解硅等。

我们的优势

	专业级实验室及顶尖技术团队
	SGS拥有完善的测试能力及顶尖的技术团队，依凭尖端精准的仪器分析设备和洁净的实验环境，积累了丰富的测试经验，确保测试数据准确可靠，为您提供高效、优质的测试服务；
	高质量品质背书
	SGS是国际公认的检验、鉴定、测试和认证机构，为您提供高质量品质背书；
	完善的服务网络
	SGS拥有遍布全球的实验室网络，为您提供完善的一站式测试认证解决方案。

服务流程


1. 咨询客服	2. 申请测试	3. 支付费用	4. 样品分析	5. 获取报告
在线咨询沟通业务需求	确定服务项目填写测试申请单	支付测试费用并提交开票资料	客户寄样/ SGS现场采样进行样品分析	测试完成获取测试报告