SEMI F21洁净室空降分子污染（AMC）分析

SGS配备高端洁净室、高端分析仪器和全套在线检测设备，引进世界先进检测经验和系统，以及资深采样和检测工程师，能够提供洁净室空降分子污染（AMC）分析服务，确保洁净室制程车间没有污染，提升产品的生产良率。

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	SEMI F21洁净室空降分子污染（AMC）分析

	SGS提供洁净室空降分子污染（AMC）分析服务
	确保洁净室制程车间没有污染，提升产品生产良率

服务背景

AMC系指-环境中有能力沈降于表面上形成单分子层（monolayer）薄膜之气态化学污染物质。因半导体晶圆越微小化、平面显示器尺寸巨大化，制程产品正面临微量污染物严重威胁，对于无尘室生产环境的洁净度要求也越来越严谨及重要。现今AMC的污染浓度虽未与目前的洁净室等级形成直接关系，但AMC的存在确实对制程有严重的影响。

AMC常见来源：

制程中使用的化学品，造成化学滤网效率降低或释出
邻近工厂使用含硫有机溶剂排放之有机硫化物
石化制程排放之挥发性有机物及其光化学反应物质
大气中硫氧化物，氮氧化物
洁净室部分建材、机具、器材等相关物品所挥发之VOCs

AMC种类：

服务内容

1. MA、MB：酸性与碱性空降分子污染采样与分析
2. MC：可沉降物质及有机气体分子采样与分析
3. MD：参杂性空降分子污染采样与分析
4. MM：金属空降分子污染采样与分析
5. S硫化物分子污染采样与分析
6. 高效滤网及化学滤网过滤效率分析
7. AMC污染解决方案

解决方案

SGS洁净室AMC检测能提供各种模式的服务：

1. 委托SGS样品采集分析

客户没有现场采样设备及采样经验，可以委托SGS到现场进行采样与分析，SGS工程师到客户现场进行采样可以避免采样过程的失误与污染。

2. 客户自行样品采集后委托SGS分析

如客户希望自行采样，SGS可协助客户建立采样能力，以达到时间与成本的优化。

采样设备租借、采样教育训练课程、采样能力建置打包方案。

我们的优势

	全球公认的质量基准，服务网络遍及全球
	SGS是全球领先的检验、鉴定、测试和认证机构，是全球公认的质量和诚信基准。SGS在全球拥有超过95000名员工及2400多个分支机构和实验室，分布在全球140多个国家和地区，服务网络遍及全球。
	高级别无尘室环境，高规格测试仪器
	SGS半导体超痕量分析实验室具有符合芯片生产的高级别无尘室环境（ISO class 4），技术能力完全为先进制程量身定制；搭配国际品牌最高规格型号的测试仪器，污染物检出限可达超痕量级别，为产业升级定制。
	为半导体产业链制造环节提供品质管控服务
	SGS半导体超痕量分析实验室作为长三角地区首个外资第三方半导体超痕量分析实验室，致力为半导体产业链制造环节提供品质管控服务，帮助芯片工厂加强产业链原物料的品质把控，提升晶圆生产良率，减少缺陷，为中国半导体产业快速发展提供服务支持。
	专家团队经验丰富，业务执行快捷高效
	SGS集团在半导体工业领域服务具有超过十年的技术积累，具有经验丰富的专家服务团队。业务执行快捷高效，助力企业降低风险，简化流程，提高营运可持续性。

服务流程


1. 咨询客服	2. 申请服务	3. 支付费用	4. 样品分析	5. 获取报告
在线咨询沟通业务需求	确定服务项目填写服务申请单	支付服务费用并提交开票资料	客户送样或SGS现场采样进行实验室样品分析	服务完成获取分析报告