SGS 协助聚合物材料及其组件之制造商与化学品与超纯水系统供货商及各大光电半导体厂符合 SEMI F57 以下的测试要求。
●Quantitative Measures of Compliance 定量要求
Particle Contribution Limits 颗粒限值
Metallic Contribution Limits 金属元素限值
Ionic Contribution Limits 离子限值
Total Organic (Oxidizable) Carbon Contribution Limits 总有机碳限值
Surface Roughness Limits 表面粗糙度限值
●Qualitative Measures of Compliance 定性要求
Mechanical Properties 机械性能
Physical Properties 物理性能
Chemical Resistance 耐化学性
Reliability, Traceability Requirements 可靠性、可追溯性要求
Packaging Requirements, Certification 包装要求、认证